顕微鏡

原子間力顕微鏡AFM　di-Innova（Veeco）

深針と試料表面に作用する原子間力を検出し、水平方向（X,Y）に走査することで表面形状を画像化する装置です。

走査型電子顕微鏡SEM　JCM-5700（日本電子）

電子線を試料に当てた際に試料から出てくる情報（信号）を検出し、モニター上に試料表面の拡大像を表示します。

透過型電子顕微鏡TEM　JEM-1400plus（日本電子）

試料に電子線を当て、それを透過してきた電子を拡大して観察する顕微鏡です。試料を透かして観察するため「透過電子顕微鏡」と呼ばれています。

電界放出形走査型電子顕微鏡FE-SEM　S-4800（日立ハイテク）

輝度が高く、細く絞られた、平行性の高い電子線を照射することにより、通常のSEMより高い分解能の像が得られる顕微鏡です。

走査方式：タッピングモード、コンタクトモード

雰囲気：大気中測定、液中測定

測定範囲：一辺100μmまで

測定温度：室温

分解能：5.0nm

倍率：×8~30,000

加速電圧：0.5~20kV

最大試料サイズ：

分解能：0.38nm（粒子像）、0.2nm（格子像）

倍率：×10~1,200,000

加速電圧：40, 60, 80, 100, 120kV

分解能：1.0nm(at 15kV), 2.0nm(at 1kV)

倍率：×30~800,000

加速電圧：0.5~30kV

最大試料サイズ：100mmφ

オスミウムプラズマコーター　OPC60A（フィルジェン）

金属オスミウムの薄い被膜を試料にコーティングする装置です。SEM試料への導電性薄膜、AFM試料への保護膜、AFM用カンチレバーへの保護膜などに用います。

試料サイズ：36mmφ×14mmφ最大

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