イオンビーム照射装置
イオンを注入して触媒をつくる
イオン注入技術を利用した無機材料の表面改質による高機能化を試みた。Pt、Rhなど担持貴金属の触媒活性がO+､N+照射によって飛躍的に向上することを明らかにし、その原因を微細構造、結晶構造、表面電子状態を基に検討した。また、アルミナ、シリカ、チタニアなど金属酸化物微粒子表面にSi+､B+などのイオンビームを照射し、微細構造および結晶構造に与える影響を調べた。この他、耐熱性合金表面をイオンビームアシスト製膜法によって処理し、耐熱耐酸化性を改善する手法を検討した。
